單晶生長爐是一種用于生長單晶材料的設(shè)備,以下將從其工作原理、結(jié)構(gòu)組成、應(yīng)用領(lǐng)域等維度展開詳細介紹: 1.工作原理 直拉法:把多晶材料放入石英坩堝內(nèi),用石墨加熱器加熱使其熔化。將籽晶固定在籽晶軸上,插入熔體表面,待籽晶與熔體熔合后,慢慢向上拉籽晶,同時控制籽晶的旋轉(zhuǎn)速度,晶體便會在籽晶下端生長。通過控制拉速、溫度、坩堝轉(zhuǎn)速等參數(shù),實現(xiàn)晶體的生長,如單晶硅的生長大多采用直拉法。
超高溫燒結(jié)爐是一種能在較高溫度環(huán)境下對材料進行燒結(jié)處理的設(shè)備,以下是其詳細介紹: 1.工作原理 電阻加熱:利用電流通過導體(如石墨發(fā)熱體)產(chǎn)生熱量,遵循焦耳定律,即熱量與電流的平方、導體電阻和通電時間成正比。如在一些采用石墨發(fā)熱體的超高溫燒結(jié)爐中,通過大電流使石墨發(fā)熱,產(chǎn)生 2000℃以上的高溫。