單晶生長爐具有以下特點: 1.正確控制方面 溫度正確:能夠將溫度控制在非常正確的范圍內,比如直拉法生長硅單晶時,要將石英坩堝內多晶硅原料加熱到 1450℃以上并保持穩定。熱場溫度分布的正確度直接影響晶體生長的質量,若溫度波動過大,可能導致晶體產生缺陷、雜質分布不均勻等問題。
超高溫燒結爐具有以下特點: 1.高溫特性 超高溫度范圍:超高溫燒結爐最顯著的特點就是能夠提供較高的溫度環境,一般可達到 1800℃以上,甚至部分優良設備能突破 3000℃,如采用石墨發熱體結合特殊隔熱材料的燒結爐,可滿足碳化硼、氮化硼等超硬材料以及一些難熔金屬的燒結需求。